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工商時報【記者彭暄貽╱台北報導】
德國化工翹楚巴斯夫（BASF）旗下台灣巴斯夫昨（27）日宣布，專為製造巴斯夫研磨液產品而設立的化學機械研磨（CMP）新廠，已正式於桃園觀音啟用投產，該廠可為先進半導體製程提供創新的CMP barrier及STI的研磨液，並將整合巴斯夫既有的龍潭廠產能，全力開拓CMP業務。
據研究機構推估，今年全球CMP市場產值規模約6~8億美元。巴斯夫台灣觀音廠主要為電子材料發展重鎮，包括先進材料與基礎材料2大區塊，而其中隸屬先進材料的台灣化學機械研磨（CMP）更是巴斯夫集團全球的唯一布局中心。
巴斯夫表示，此新廠專為製造巴斯夫研磨液產品而設立，於9月底正式投產，為先進半導體製程提供創新的CMP barrier及STI的研磨液。後續將進一步整合現有龍潭廠的產能，藉此拉抬先進材料在電子材料的收益貢獻能量。
巴斯夫深耕半導體市場已長達25年。2006年切入CMP領域後，隔年便在台灣投資設立應用實驗工廠，其後又建置龍潭廠區。巴斯夫目前在桃園觀音已有一座電子材料生產基地，並設有負責發展先進CMP產品的應用實驗室，可和客戶緊密合作。
巴斯夫電子材料CMP事業部總監王靜亞表示，隨著先進半導體技術的進步以及製程線寬的縮小，CMP被視為先進IC製造的關鍵技術，CMP新廠與CMP應用實驗室將為半導體客戶提供更優質的服務。
